Compositional analysis of amorphous SiNx:H films by ERDA and infrared spectroscopy
- Bohne, W.
- Fuhs, W.
- Röhrich, J.
- Selle, B.
- González-Díaz, G.
- Mártil, I.
- Martínez, F.L.
- Del Prado, A.
ISSN: 0142-2421
Datum der Publikation: 2000
Ausgabe: 30
Nummer: 1
Seiten: 534-537
Art: Artikel