Dispositivos y Diseño Microelectrónico
DDM
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Centro de Investigaciones Energéticas, Medioambientales y Tecnológicas
Madrid, EspañaPublicaciones en colaboración con investigadores/as de Centro de Investigaciones Energéticas, Medioambientales y Tecnológicas (1)
2007
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Optical properties and structure of HfO2 thin films grown by high pressure reactive sputtering
Journal of Physics D: Applied Physics, Vol. 40, Núm. 17, pp. 5256-5265