Temperature effects on the electrical properties and structure of interfacial and bulk defects in Al/SiNx:H/Si devices
- Martínez, F.L.
- San Andrés, E.
- Del Prado, A.
- Mártil, I.
- Bravo, D.
- López, F.J.
ISSN: 0021-8979
Any de publicació: 2001
Volum: 90
Número: 3
Pàgines: 1573-1581
Tipus: Article