Thermally induced changes in the optical properties of SiNx:H films deposited by the electron cyclotron resonance plasma method
- Martínez, F.L.
- Del Prado, A.
- Mártil, I.
- González-Díaz, G.
- Selle, B.
- Sieber, I.
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 1999
Ausgabe: 86
Nummer: 4
Seiten: 2055-2061
Art: Artikel