Compositional analysis of polycrystalline hafnium oxide thin films by heavy-ion elastic recoil detection analysis

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Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 2006

Volumen: 515

Número: 2 SPEC. ISS.

Páginas: 695-699

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/J.TSF.2005.12.239 GOOGLE SCHOLAR
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