Optical properties and structure of HfO2 thin films grown by high pressure reactive sputtering
- Martínez, F.L.
- Toledano-Luque, M.
- Gandía, J.J.
- Cárabe, J.
- Bohne, W.
- Röhrich, J.
- Strub, E.
- Mártil, I.
ISSN: 0022-3727, 1361-6463
Any de publicació: 2007
Volum: 40
Número: 17
Pàgines: 5256-5265
Tipus: Article