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Desarrollo de Sistemas y Circuitos Electrónicos y Microelectrónicos
DECIMIC
Germán
González Díaz
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Germán González Díaz
Publikationen, an denen er mitarbeitet Germán González Díaz (1)
2004
Bonding structure and hydrogen content in silicon nitride thin films deposited by the electron cyclotron resonance plasma method
Thin Solid Films
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