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Desarrollo de Sistemas y Circuitos Electrónicos y Microelectrónicos
DECIMIC
Universidad Complutense de Madrid
Madrid, España
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Colaboraciones
Universidad Complutense de Madrid
Publicaciones en colaboración con investigadores/as de Universidad Complutense de Madrid (1)
2004
Bonding structure and hydrogen content in silicon nitride thin films deposited by the electron cyclotron resonance plasma method
Thin Solid Films
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