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Ramón Jesús
Ruiz Merino
Catedrático de Universidad
Universidade de Lisboa
Lisboa, Portugal
Sie sind in
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Universidade de Lisboa
Publikationen in Zusammenarbeit mit Forschern von Universidade de Lisboa (1)
2004
Bonding structure and hydrogen content in silicon nitride thin films deposited by the electron cyclotron resonance plasma method
Thin Solid Films
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