Physical properties of high pressure reactively sputtered hafnium oxide

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Zeitschrift:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Datum der Publikation: 2008

Ausgabe: 82

Nummer: 12

Seiten: 1391-1394

Art: Artikel

DOI: 10.1016/J.VACUUM.2008.03.083 GOOGLE SCHOLAR

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