Fabrication and characterisation of thin low-temperature MBE-compatible silicon oxides of different stoichiometry

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Zeitschrift:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 349

Nummer: 1-2

Seiten: 135-146

Art: Artikel

DOI: 10.1016/S0040-6090(99)00166-2 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus