Hydrogen incorporation and crystallization of nanocrystalline silicon deposited by electron cyclotron resonance plasmas

  1. Holgado, S.
  2. Martínez, J.
  3. Garrido, J.
  4. Piqueras, J.
Zeitschrift:
Journal of the Electrochemical Society

ISSN: 0013-4651

Datum der Publikation: 1999

Ausgabe: 146

Nummer: 5

Seiten: 1966-1970

Art: Artikel

DOI: 10.1149/1.1391874 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus