Hydrogen incorporation and crystallization of nanocrystalline silicon deposited by electron cyclotron resonance plasmas

  1. Holgado, S.
  2. Martínez, J.
  3. Garrido, J.
  4. Piqueras, J.
Aldizkaria:
Journal of the Electrochemical Society

ISSN: 0013-4651

Argitalpen urtea: 1999

Alea: 146

Zenbakia: 5

Orrialdeak: 1966-1970

Mota: Artikulua

DOI: 10.1149/1.1391874 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus