Rapid thermal annealing behavior of amorphous SiC layers deposited by electron cyclotron resonance plasma
- Gomez, F.J.
- Garrido, J.
- Martinez, J.
- Piqueras, J.
ISSN: 0013-4651
Any de publicació: 1996
Volum: 143
Número: 1
Pàgines: 271-277
Tipus: Article