Amorphous SiC layers deposited by electron cyclotron resonance plasma: spectroscopic ellipsometric measurements
- Gomez, F.J.
- Martinez, J.
- Garrido, J.
- Gomez-Aleixandre, C.
- Piqueras, J.
ISSN: 0022-3093
Any de publicació: 1995
Volum: 191
Número: 1-2
Pàgines: 164-173
Tipus: Article