Amorphous SiC layers deposited by electron cyclotron resonance plasma: spectroscopic ellipsometric measurements

  1. Gomez, F.J.
  2. Martinez, J.
  3. Garrido, J.
  4. Gomez-Aleixandre, C.
  5. Piqueras, J.
Zeitschrift:
Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN: 0022-3093

Datum der Publikation: 1995

Ausgabe: 191

Nummer: 1-2

Seiten: 164-173

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0022-3093(95)00284-7 GOOGLE SCHOLAR
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