Optical and structural properties of SiOxNyHz films deposited by electron cyclotron resonance and their correlation with composition

  1. Del Prado, A.
  2. Andrés, E.S.
  3. Mártil, I.
  4. González-Diaz, G.
  5. Bravo, D.
  6. López, F.J.
  7. Bohne, W.
  8. Röhrich, J.
  9. Selle, B.
  10. Martínez, F.L.
Revista:
Journal of Applied Physics

ISSN: 0021-8979

Any de publicació: 2003

Volum: 93

Número: 11

Pàgines: 8930-8938

Tipus: Article

DOI: 10.1063/1.1566476 GOOGLE SCHOLAR lock_openAccés obert editor
Font de les dades: Scopus