Defect structure of SiNx:H films and its evolution with annealing temperature
- Martínez, F.L.
- Del Prado, A.
- Mártil, I.
- Bravo, D.
- López, F.J.
ISSN: 0021-8979
Any de publicació: 2000
Volum: 88
Número: 4
Pàgines: 2149-2151
Tipus: Article
ISSN: 0021-8979
Any de publicació: 2000
Volum: 88
Número: 4
Pàgines: 2149-2151
Tipus: Article