Thermal stability of a-SiNx:H films deposited by plasma electron cyclotron resonance

  1. Martínez, F.L.
  2. Del Prado, A.
  3. Bravo, D.
  4. López, F.
  5. Mártil, I.
  6. González-Díaz, G.
Revista:
Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films

ISSN: 0734-2101

Any de publicació: 1999

Volum: 17

Número: 4

Pàgines: 1280-1284

Tipus: Article

DOI: 10.1116/1.582110 GOOGLE SCHOLAR

Objectius de Desenvolupament Sostenible

Font de les dades: Scopus