Thermal stability of a-SiNx:H films deposited by plasma electron cyclotron resonance
- Martínez, F.L.
- Del Prado, A.
- Bravo, D.
- López, F.
- Mártil, I.
- González-Díaz, G.
ISSN: 0734-2101
Ano de publicación: 1999
Volume: 17
Número: 4
Páxinas: 1280-1284
Tipo: Artigo