Thermal stability of a-SiNx:H films deposited by plasma electron cyclotron resonance
- Martínez, F.L.
- Del Prado, A.
- Bravo, D.
- López, F.
- Mártil, I.
- González-Díaz, G.
ISSN: 0734-2101
Datum der Publikation: 1999
Ausgabe: 17
Nummer: 4
Seiten: 1280-1284
Art: Artikel