Fabrication and characterisation of thin low-temperature MBE-compatible silicon oxides of different stoichiometry

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Revista:
Thin Solid Films

ISSN: 0040-6090

Año de publicación: 1999

Volumen: 349

Número: 1-2

Páginas: 135-146

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/S0040-6090(99)00166-2 GOOGLE SCHOLAR
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