Compositional and electrical properties of ECR-CVD silicon oxynitrides

  1. Hernandez, M.J.
  2. Garrido, J.
  3. Martinez, J.
  4. Piqueras, J.
Aldizkaria:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242

Argitalpen urtea: 1997

Alea: 12

Zenbakia: 7

Orrialdeak: 927-932

Mota: Artikulua

DOI: 10.1088/0268-1242/12/7/027 GOOGLE SCHOLAR

Garapen Iraunkorreko Helburuak

Datuen iturria: Scopus