Compositional and electrical properties of ECR-CVD silicon oxynitrides

  1. Hernandez, M.J.
  2. Garrido, J.
  3. Martinez, J.
  4. Piqueras, J.
Revue:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242

Année de publication: 1997

Volumen: 12

Número: 7

Pages: 927-932

Type: Article

DOI: 10.1088/0268-1242/12/7/027 GOOGLE SCHOLAR

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