Compositional and electrical properties of ECR-CVD silicon oxynitrides

  1. Hernandez, M.J.
  2. Garrido, J.
  3. Martinez, J.
  4. Piqueras, J.
Revista:
Semiconductor Science and Technology

ISSN: 0268-1242

Ano de publicación: 1997

Volume: 12

Número: 7

Páxinas: 927-932

Tipo: Artigo

DOI: 10.1088/0268-1242/12/7/027 GOOGLE SCHOLAR

Obxectivos de Desenvolvemento Sustentable

Fonte de datos: Scopus