Hydrogen incorporation and crystallization of nanocrystalline silicon deposited by electron cyclotron resonance plasmas

  1. Holgado, S.
  2. Martínez, J.
  3. Garrido, J.
  4. Piqueras, J.
Revista:
Journal of the Electrochemical Society

ISSN: 0013-4651

Año de publicación: 1999

Volumen: 146

Número: 5

Páginas: 1966-1970

Tipo: Artículo

DOI: 10.1149/1.1391874 GOOGLE SCHOLAR
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