Rapid solid phase crystallization of nanocrystalline silicon deposited by electron cyclotron plasma chemical vapor deposition

  1. Holgado, S.
  2. Martínez, J.
  3. Garrido, J.
  4. Morant, C.
  5. Piqueras, J.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Ano de publicación: 1996

Volume: 69

Número: 13

Páxinas: 1873-1875

Tipo: Artigo

DOI: 10.1063/1.117462 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus