Scanning electron beam annealing of sputter-deposited titanium on silicon

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Zeitschrift:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Datum der Publikation: 1996

Ausgabe: 118

Nummer: 1-4

Seiten: 733-738

Art: Artikel

DOI: 10.1016/0168-583X(96)80118-2 GOOGLE SCHOLAR
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