Scanning electron beam annealing of sputter-deposited titanium on silicon
- Cervera, M.
- Climent-Font, A.
- Garrido, J.
- Martínez, J.
- Perrière, J.
ISSN: 0168-583X
Ano de publicación: 1996
Volume: 118
Número: 1-4
Páxinas: 733-738
Tipo: Artigo
ISSN: 0168-583X
Ano de publicación: 1996
Volume: 118
Número: 1-4
Páxinas: 733-738
Tipo: Artigo