José Javier
Martínez Álvarez
Profesor Titular de Universidad
Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid
Madrid, EspañaPublicacions en col·laboració amb investigadors/es de Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (1)
1995
-
Amorphous SiC layers deposited by electron cyclotron resonance plasma: spectroscopic ellipsometric measurements
Journal of Non-Crystalline Solids, Vol. 191, Núm. 1-2, pp. 164-173