José Javier
Martínez Álvarez
Profesor Titular de Universidad
Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid
Madrid, EspañaPublications in collaboration with researchers from Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (1)
1995
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Amorphous SiC layers deposited by electron cyclotron resonance plasma: spectroscopic ellipsometric measurements
Journal of Non-Crystalline Solids, Vol. 191, Núm. 1-2, pp. 164-173