Physical properties of plasma deposited SiOx thin films

  1. San Andrés, E.
  2. Del Prado, A.
  3. Mártil, I.
  4. González, G.
  5. Martínez, F.L.
  6. Bravo, D.
  7. López, F.J.
  8. Fernández, M.
Aldizkaria:
Vacuum

ISSN: 0042-207X

Argitalpen urtea: 2002

Alea: 67

Zenbakia: 3-4

Orrialdeak: 525-529

Mota: Biltzar ekarpena

DOI: 10.1016/S0042-207X(02)00243-9 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus