Optical and structural properties of SiOxNyHz films deposited by electron cyclotron resonance and their correlation with composition
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- Röhrich, J.
- Selle, B.
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ISSN: 0021-8979
Año de publicación: 2003
Volumen: 93
Número: 11
Páginas: 8930-8938
Tipo: Artículo