Passivation, structural modification, and etching of amorphous silicon in hydrogen plasmas
- McQuaid, S.A.
- Holgado, S.
- Garrido, J.
- Martínez, J.
- Piqueras, J.
- Newman, R.C.
- Tucker, J.H.
ISSN: 0021-8979
Datum der Publikation: 1997
Ausgabe: 81
Nummer: 11
Seiten: 7612-7618
Art: Artikel