Rapid solid phase crystallization of nanocrystalline silicon deposited by electron cyclotron plasma chemical vapor deposition

  1. Holgado, S.
  2. Martínez, J.
  3. Garrido, J.
  4. Morant, C.
  5. Piqueras, J.
Revista:
Applied Physics Letters

ISSN: 0003-6951

Año de publicación: 1996

Volumen: 69

Número: 13

Páginas: 1873-1875

Tipo: Artículo

DOI: 10.1063/1.117462 GOOGLE SCHOLAR
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