Scanning electron beam annealing of sputter-deposited titanium on silicon

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Revista:
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research, Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

ISSN: 0168-583X

Año de publicación: 1996

Volumen: 118

Número: 1-4

Páginas: 733-738

Tipo: Artículo

DOI: 10.1016/0168-583X(96)80118-2 GOOGLE SCHOLAR
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