José Javier
Martínez Álvarez
Profesor Titular de Universidad
Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid
Madrid, EspañaPublicaciones en colaboración con investigadores/as de Instituto de Ciencia de Materiales de Madrid (1)
1995
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Amorphous SiC layers deposited by electron cyclotron resonance plasma: spectroscopic ellipsometric measurements
Journal of Non-Crystalline Solids, Vol. 191, Núm. 1-2, pp. 164-173