Physical properties of plasma deposited SiOx thin films
- San Andrés, E.
- Del Prado, A.
- Mártil, I.
- González, G.
- Martínez, F.L.
- Bravo, D.
- López, F.J.
- Fernández, M.
ISSN: 0042-207X
Año de publicación: 2002
Volumen: 67
Número: 3-4
Páginas: 525-529
Tipo: Aportación congreso