Temperature evolution during scanning electron beam processing of silicon

  1. Cervera, M.
  2. Martínez, J.
  3. Garrido, J.
  4. Piqueras, J.
Zeitschrift:
Applied Physics A: Materials Science and Processing

ISSN: 0947-8396

Datum der Publikation: 1996

Ausgabe: 62

Nummer: 5

Seiten: 451-457

Art: Artikel

DOI: 10.1007/BF01567116 GOOGLE SCHOLAR
Datenquelle: Scopus