Temperature evolution during scanning electron beam processing of silicon

  1. Cervera, M.
  2. Martínez, J.
  3. Garrido, J.
  4. Piqueras, J.
Revista:
Applied Physics A: Materials Science and Processing

ISSN: 0947-8396

Ano de publicación: 1996

Volume: 62

Número: 5

Páxinas: 451-457

Tipo: Artigo

DOI: 10.1007/BF01567116 GOOGLE SCHOLAR
Fonte de datos: Scopus