Temperature evolution during scanning electron beam processing of silicon

  1. Cervera, M.
  2. Martínez, J.
  3. Garrido, J.
  4. Piqueras, J.
Aldizkaria:
Applied Physics A: Materials Science and Processing

ISSN: 0947-8396

Argitalpen urtea: 1996

Alea: 62

Zenbakia: 5

Orrialdeak: 451-457

Mota: Artikulua

DOI: 10.1007/BF01567116 GOOGLE SCHOLAR
Datuen iturria: Scopus