Publicacions en què col·labora amb Alvaro del Prado Millán (21)

1999

  1. Effect of substrate temperature in SiOxNy films deposited by electron cyclotron resonance

    Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, Vol. 17, Núm. 4, pp. 1263-1268

  2. Thermal stability of a-SiNx:H films deposited by plasma electron cyclotron resonance

    Journal of Vacuum Science and Technology A: Vacuum, Surfaces and Films, Vol. 17, Núm. 4, pp. 1280-1284