Temperature evolution during scanning electron beam processing of silicon

  1. Cervera, M.
  2. Martínez, J.
  3. Garrido, J.
  4. Piqueras, J.
Revista:
Applied Physics A: Materials Science and Processing

ISSN: 0947-8396

Año de publicación: 1996

Volumen: 62

Número: 5

Páginas: 451-457

Tipo: Artículo

DOI: 10.1007/BF01567116 GOOGLE SCHOLAR
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